半導體專用螺桿真空泵

半導體專用螺桿真空泵特征特點：

1. 結構簡單緊湊：對旋向相反的螺桿、泵體、端蓋、密封件等部件組成，結構非常簡單，非常可靠。

2. 抽氣腔原件無摩擦：螺桿和泵體之間均有一定間隙。

3. 使用壽命長：由于腔內部部件之間不摩擦，潤滑油在非氣體過流部分部件中循環。

4. 真空度高：單臺螺桿干式真空泵可替代三級羅茨泵水環真空機組。

5. 無污染：無需任何工作介質，因此無油污染，無污水。

6. 噪音低：一般情況下為80分貝左右。

7. 適宜抽可凝性氣體（如水蒸氣等）、含粉塵的氣體。

8. 從大氣抽至極限壓力5Pa，只要一臺泵就能解決。

9. 干式運行，溶酶回收更容易。

10. 潤滑油在兩端，因此無油耗。

11. 可與羅茨泵組成真空系統，獲得更高的極限真空度和增大抽速。

12. 可與分子泵組成真空系統，真正達到無油環境。

13. 獨有自動控制系統，使泵更加安全、可靠、方便使用。

14. 螺桿端面型線是等距單頭轉子型線，穩定性極高，適應范圍廣。

15. 進氣口標配單向截止閥，防止氣體回流，保護反應釜內的物質。

16. 出氣口標配消音器件，無需客戶另外購買。

17. 提供二種防腐蝕材料選擇：鎳磷合金、特氟龍。

18. 獨特自主研發的高科技的自動控制系統，操作方便、簡單、可靠、安全。

19. 使用成本極低：和傳統真空泵相比，螺桿真空泵不使用真空泵油、水或其它液體作為介質，使用成本極低，也不污染環境。

20. 幾乎不須維修：由于螺桿泵的結構特別簡單，所以螺桿泵在使用中非?？煽?。只要進行正常定期保養，維修的概率很低。配上本公司獨有的自控系統，可以有效消除螺桿的積碳、積垢、長時間不用后容易卡死等現象。

半導體專用螺桿真空泵參數：

型號：PNK DSP 0460

額定流量：460m³/h

極限壓力：1Pa

電機功率：15kw

轉速：2900/3500rpm

噪音：75dB(A)

吸氣口：80mm

排氣口：65mm

冷卻水量：15-20L

空溫：0-50℃

操作濕度：90%RH

安裝圖

曲線圖

東莞市普諾克真空科技有限公司坐落在中國制造名城----東莞，是一家集旋片真空泵、羅茨真空泵、螺桿真空泵及真空應用成套設備的專業生產廠家。

公司技術力量雄厚，工藝設備先進，產品質量上乘，配套齊全，是指引國內真空潮流的專業廠家。公司擁有真空泵，真空設備設計專業的技術人員，并不斷吸收先進的技術與人才。具有先進的設計和制造工藝技術，擁有專業的真空設計開發中心，致力于開發，生產適應市場需求的新一代產品。

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半導體專用螺桿真空泵產品圖片